WF6 brukes hovedsakelig som råmateriale for kjemisk dampavsetning (CVD) av metallwolfram i elektronikkindustrien. WSi2 laget av WF6 kan brukes som ledningsmateriale i storskala integrerte kretser (LSI), og kan også brukes som råmateriale for halvlederelektroder, fluorråvarer for kjemiske midler, polymerisasjonskatalysatorer, optiske materialer, etc.