WF6 brukes hovedsakelig som råmateriale for den kjemiske dampavsetningsprosessen (CVD) av metall wolfram i elektronikkindustrien. WSi2 laget av WF6 kan brukes som ledningsmateriale i storskala integrerte kretsløp (LSI), og kan også brukes som råmateriale for halvlederelektroder, fluor Råmaterialer for kjemiske midler, polymerisasjonskatalysatorer, optiske materialer, etc.